製品情報
ケミクリーン- Sシリーズ
ケミクリーン- Dシリーズ
ケミクリーン- Vシリーズ
ケミクリーン- Uシリーズ
ケミクリーン- Gシリーズ
ケミクリーン- Eシリーズ





装置概要
ケミクリーン-Dシリーズは、当社独自の技術によって開発したNF3ガス用の乾式排ガス処理装置です。
NF3を含んだ排ガスを確実かつ安全に処理しやすいガスに転換でき、多くの皆様にご利用いただいております。

システムの特長
<確実な除去、安全な排ガス>
NF3ガスを確実に許容濃度以下まで、処理することができます。
<ドライプロセス、簡単な操作>
分解方式はシンプルなドライプロセス(乾式)であるため、取り扱いは簡単で、排水等の心配はありません。
<優れた経済性、薬剤の交換が容易>
消費電力が小さく、わずかなランニングコストで処理できます。
また、金属シリコンの交換は薬剤の補充方式であるため、素早く、簡単に行うことができます。
<LPG、水素等の燃焼ガスが不要>
燃焼ガスを必要としないので、簡単に設置、安全に使用することができます。
<温暖化ガスを排出しない>
副生成物として、CO2などの温暖化ガスを排出しません。



会社概要業務案内製品情報お問い合わせHOME
情報のお取り扱いについて リンク
copyright (c) Central Engineering CO., LTD. All Rights Reserved.