セントラルエンジニアリング　-製品情報

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		■ 装置概要ケミクリーン-Ｄシリーズは、当社独自の技術によって開発したNF₃ガス用の乾式排ガス処理装置です。 NF₃を含んだ排ガスを確実かつ安全に処理しやすいガスに転換でき、多くの皆様にご利用いただいております。 ■ システムの特長＜確実な除去、安全な排ガス＞ NF₃ガスを確実に許容濃度以下まで、処理することができます。＜ドライプロセス、簡単な操作＞分解方式はシンプルなドライプロセス（乾式）であるため、取り扱いは簡単で、排水等の心配はありません。＜優れた経済性、薬剤の交換が容易＞消費電力が小さく、わずかなランニングコストで処理できます。また、金属シリコンの交換は薬剤の補充方式であるため、素早く、簡単に行うことができます。＜ＬＰＧ、水素等の燃焼ガスが不要＞燃焼ガスを必要としないので、簡単に設置、安全に使用することができます。＜温暖化ガスを排出しない＞副生成物として、CO₂などの温暖化ガスを排出しません。