製品情報
ケミクリーン- Sシリーズ
ケミクリーン- Dシリーズ
ケミクリーン- Vシリーズ
ケミクリーン- Uシリーズ
ケミクリーン- Gシリーズ
ケミクリーン- Eシリーズ





装置概要
ケミクリーン-Sシリーズは、ハロゲンガス用として各種安全機構を備えた量産工場向け乾式排ガス処理装置です。御客様のニーズに対応した各種型式をラインナップしております。
尚、本装置は各種ハロゲンガス、酸性ガスを化学反応による固定法で安全確実に処理できます。
<欧米輸出対応装置(SEMI,CEマーキング対応)>

システムの特長
<安全、確実に処理>
薬剤との化学反応による固定法のため確実に処理できます。
<ドライプロセス>
処理方式はドライプロセス(乾式)のため排水等の心配はありません。
<各種安全機構を装備>
圧力異常、温度異常、薬剤寿命などを検知しアラーム出力します。
<各種ハロゲンガスを処理>
ClF3, SiF4, WF6, F2, HF, HCl等を確実に処理することができます。
<簡単操作による自動運転>
シンプル化された操作による安全、確実な自動運転が可能です。
<ライトサイジング>
ダウンサイジングを極めたコンパクトな装置でフットプリントを小さくできます。
<高コストパフォーマンス>
カラム当たりの処理能力が高く、ランニングコストを低くおさえることができます。



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