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■ 装置概要
ケミクリーン-Vシリーズは、当社独自の技術によって開発したＰＦＣガス（SF6, CF4, C2F6, C5F8, C4F6 等）用の乾式排ガス処理装置です。御客様のニーズに対応した各種型式をラインナップしております。
尚、本装置は各種ＰＦＣガスを化学反応による固定法で安全確実に処理できます。
■ システムの特長
＜安全、確実に処理＞
薬剤との化学反応による固定法のため確実に処理できます。
＜各種ＰＦＣガスを処理＞
C2F6, CF4, C5F8, C4F6, CHF3, CH2F2, C4F8, C3F8, SF6等を処理することができます。
＜ＣＯガスも処理（オプション）＞
エッチング装置で使用されるアシストガスのＣＯも処理可能です。
＜ドライプロセス＞
処理方式はシンプルなドライプロセス（乾式）のため、取り扱いは簡単で、排水等の心配はありません。
＜ＬＰＧ、水素等の燃焼ガスが不要＞
燃焼ガスを必要としないので、簡単に設置、安全に使用することができます。
＜各種安全機構を装備＞
圧力異常、温度異常などを検知しアラーム出力します。
＜ライトサイジング＞
ダウンサイジングを極めたコンパクトな装置でフットプリントを小さくできます。 |
