セントラルエンジニアリング　-製品情報

製品情報



		■ 装置概要ケミクリーン-Ｅシリーズは､エキシマレーザの出力安定化のために開発されたエキシマレーザ用ガス精製循環装置です。この装置によりレーザ出力の長時間にわたる安定化が達成でき、連続発振、工業的使用が可能になります。また、レーザ発振に伴って発生する各種の不純物を取り除き、高価な希ガスを循環再使用するためにガスコストの大幅な削減が可能になります。 ■ システムの特長＜レーザ出力の安定化＞連続精製運転により長時間にわたって安定した連続発振ができ、工業的使用が可能となります。＜低ランニングコスト＞高価な希ガスを循環再利用するためにガスコストの大幅な削減が可能となります。＜省力化＞間欠精製運転により長期間にわたり面倒なガス交換なしでレーザの使用が可能になります。＜ライトサイジング＞ダウンサイジングを極めたコンパクトな装置でフットプリントを小さくできます。